XD系列(lie)真空泵(bèng) 是指(zhǐ)該泵可(kě)在常壓(yā)下啓動(dòng)抽氣，并(bing)可将抽(chōu)吸的氣(qì)體直接(jie)㊙️排放到(dào)大氣中(zhōng)。泵腔内(nèi)無油或(huo)其他工(gōng)作介質(zhi)，壓力等(deng)于或接(jiē)近油封(fēng)真空泵(bèng)的機械(xiè)真空泵(bèng)。
截至(zhì) 2013年，真空(kōng)行業使(shǐ)用的機(jī)械真空(kōng)泵大多(duō)采用油(yóu)、水或💚其(qi)🔞他聚👈合(he)物等流(liú)體作爲(wèi)泵的工(gong)作介質(zhì)，在泵内(nei)具有冷(lěng)卻、密封(feng)、潤滑等(děng)多重功(gōng)能。随着(zhe)科學技(jì)術的發(fa)展和真(zhen)空應用(yong)領域的(de)擴大，原(yuan)有的機(ji)械真空(kōng)泵及其(qi)排氣系(xì)🔞統有兩(liang)個迫切(qiē)需要解(jie)決的問(wèn)題：一是(shì)泵☂️的工(gōng)作介質(zhi)🔞倒流，污(wu)染被🙇♀️抽(chōu)容器，而(er)這種回(hui)流在很(hen)💰多情況(kuang)下會影(ying)響産品(pin)的質量(liang)和數量(liang)，增加設(shè)⛷️備的維(wéi)護成本(běn)。其次，真(zhen)空泵中(zhōng)✉️的介質(zhì)由于某(mou)些過程(cheng)中的反(fǎn)應物而(ér)嚴重變(bian)質，使泵(bèng)無法正(zheng)常工作(zuò)。
對于(yú)普通的(de)無油真(zhēn)空系統(tong)，雖然可(kě)以使用(yong)油封真(zhēn)🌏空泵🥰和(hé)冷阱🌈或(huò)吸附阱(jing)等附件(jian)來防止(zhi)回流，但(dan)不能完(wán)全解決(jué)💚問題，使(shǐ)系統複(fú)🔆雜。使用(yòng)合适類(lei)型的 XD系列真(zhen)空泵 可以達(dá)到預期(qi)的效果(guo)。
XD系列(lie)真空泵(bèng) 應用(yong)廣泛，主(zhu)要表現(xian)在以下(xià)幾個方(fāng)面：
2、半(ban)導體蝕(shí)刻工藝(yi)。 在這(zhe)些生産(chan)過程中(zhong)經常使(shi)用或産(chǎn)生腐蝕(shí)性氣體(ti)和💚磨料(liào)⚽顆粒；
3、對于(yu)除半導(dao)體工藝(yi)外的一(yi)些會産(chǎn)生顆粒(li)的工藝(yì)，預計顆(ke)粒不會(huì)混入 XD系列真(zhēn)空泵
4、在化(hua)工、醫藥(yao)、食品行(hang)業的蒸(zheng)餾、幹燥(zao)、脫氣、包(bao)裝等過(guo)程中，應(ying)防止有(yǒu)機溶劑(jì)造成污(wu)染，宜選(xuan)用
5、 用(yong)作一般(bān)無油清(qing)潔真空(kōng)系統的(de)前級泵(bèng)，防止油(yóu)污。
