(1)在較寬的(de)壓力範圍(wéi)内有較大(dà)的抽速;
(2)轉(zhuǎn)子具有良(liáng)好的幾何(hé)對稱性,故(gù)振動小,運(yun)轉平穩🌈。轉(zhuan)子💁間及轉(zhuǎn)子和殼體(ti)間均有間(jian)隙,不用潤(rùn)滑,摩擦損(sǔn)失小,可大(dà)大降低驅(qū)動功率,從(cóng)而可實現(xian)較高轉👉速(su);
(3)泵腔内無(wú)需用油密(mi)封和潤滑(hua),可減少油(yóu)蒸氣對真(zhen)空系統的(de)污染;
(4)泵腔(qiāng)内無壓縮(suō),無排氣閥(fá)。結構簡單(dān)、緊湊,對被(bei)抽氣體🙇🏻中(zhong)的🔞灰塵和(hé)水蒸汽不(bu)敏感;
(5)壓縮(suo)比較低,對(duì)氫氣抽氣(qi)效果差;
(6)轉(zhuǎn)子表面爲(wèi)形狀較爲(wei)複雜的曲(qu)線柱面,加(jia)工和檢查(chá)比較困難(nán)。